半導体電子デバイスをつくる・はかるための電子デバイス実験室
九州産業大学理工学部電気工学科では令和7年度より半導体人材育成に特化した新コース「半導体・電子デバイスコース」を設置します。そのため、現在、8号館6階に半導体に関する学生実験を行う施設を整備しています。微細な配線パターンを真空蒸着器で形成するために必要なマスクを作る露光機、Alなどの金属をシリコン基板などに成膜する真空蒸着器、作製した半導体デバイスの特性をはかる測定器などを置いています。なお、今後、様々な実験装置が導入され、本格的な学生実験が行えるように準備を進めています。